专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体设备的遮挡组件及反应腔室-CN202111160448.6有效
  • 李新颖;王宽冒 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2021-09-30 - 2023-04-14 - C23C14/35
  • 本发明提供一种半导体设备的遮挡组件及反应腔室,半导体设备的遮挡组件设置于反应腔室内,包括第一体和第体,第一体用于环绕在反应腔室中的承载部件的外周壁上;第体可活动的设置于反应腔室中的内衬上,且第体位于第一体的上方,第一体和第体可选择性的分离或者抵接,其特征在于,第一体与第体相互抵接的两个表面上分别设置有能够相互配合的热交换结构,用于在第一体和第体抵接时,将第体上的热量传递向第一体。本发明通过使第体的热量快速传递至第一体,可以减缓第体的升温速率,以提高沉积的薄膜均匀性和第体的单次工作时长,进而提高产能。
  • 半导体设备遮挡组件反应

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