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- [发明专利]硅片表面不平整度测量方法-CN201510105532.6有效
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陈开盛;曹庄琪;沈益翰
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上海光刻电子科技有限公司
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2015-03-05
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2018-04-17
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G01B11/30
- 硅片表面不平整度测量方法属于物理测量领域。该方法提供一种双面金属包覆波导超高阶导模图像分析仪,用于硅片表面不平整度的测量,可实现1nm~10nm不平整度的测量范围,分辨率可小于1.0nm。该方案利用波长为244nm的紫外激光做光源,使介质硅转变为金属,然后以小角度入射于由铝膜、空气腔和待测硅片组成的双面金属包覆波导,激发这种结构中对导波层厚度灵敏度极高的超高阶导模。硅片表面的不平整意味着空气层厚度、也就是导波层厚度的变化,则在反射光斑中将出现亮度明暗的变化。本发明具有以下优点(1)采用大面积图像显示硅片表面的不平整度,不需要光束扫描;(2)可测量硅片表面纳米量级的不平度;(3)测量装置结构简单,操作方便,成本低廉。
- 硅片表面平整测量方法
- [发明专利]提高SiC晶圆平整度的方法-CN202010506287.0在审
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宋华平;杨军伟;陈蛟;简基康;王文军;陈小龙
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松山湖材料实验室
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2020-06-05
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2021-12-07
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B28D5/04
- 本发明公开了一种提高SiC晶圆平整度的方法,本发明通过先测量SiC晶圆的平整度数据,包括TTV值、Bow值和Warp值,通过分析计算获得具有最佳平整度的SiC晶圆而需去除的多余SiC材料对应的最佳切割面,采用激光切割的方法,将SiC晶圆表面不平整区域完全去除,再通过研磨抛光工艺将SiC晶圆的表面平整度和表面粗糙度加工到预定值;本发明提高SiC晶圆平整度的方法操作简单,易于实现,通过激光切割可以大部分消除SiC晶圆的不平整度,从而大大提高了后续研磨工序的效率,并且将研磨工序中出现SiC晶圆破裂的风险降到最低,提高了良率,保证产品质量,且加工效率高。
- 提高sic平整方法
- [实用新型]一种混凝土模板平整度检测装置-CN202021415236.9有效
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杨勇;韩奎伟;韩乐;艾纯;程玲
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广东蕉岭建筑工程集团有限公司
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2020-07-17
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2021-01-15
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G01B5/28
- 本实用新型公开了一种混凝土模板平整度检测装置,包括底座,所述底座上表面设有安装槽,所述底座前端对齐安装槽底部的位置插接有收集盒,所述底座上表面开口处均匀的设有若干滚轴,所述底座顶端设有压盖,所述压盖两侧和底座两侧插接在一起,本实用新型解决现有的混凝土模板平整度检测多用水平尺,这种检测方式容易造成检测不均匀,并不能够有效的检测出不平整的混凝土模板的问题,通过对检测工具的结构进行改良和优化,使得检测工具方便对混凝土模板进行平整度检测,且这种检测工具操作简单,能够快速有效的在混凝土模板中筛选出平整度不合格的混凝土模板,从而避免不平整的混凝土模板造成浇筑体表面不平整,从而影响建筑物施工的问题。
- 一种混凝土模板平整检测装置
- [实用新型]一种脚手架-CN202021541693.2有效
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刘衍顺;白祥林;王正强
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东方希望(三门峡)铝业有限公司
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2020-07-30
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2021-04-20
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E04G1/04
- 本实用新型公开了一种脚手架,涉及登高设备技术领域,包括架体和调整装置,架体上设置有踏板,踏板与架体可拆卸连接,调整装置与架体用于与地面接触的一端固定连接,调整装置相对于架体上升或下降能够补偿地面的不平整度使架体的一端与地面全接触来使踏板保持水平本实用新型中,设置调整装置,当检修位置处的地面平整时,无需通过调节调整装置来补偿地面的不平整度,直接登上踏板来进项检修工作,当检修位置处的地面不平整时,调节调整装置上升或下降来补偿地面的不平整度,使踏板保持水平,不因地面不平整而倾斜,便于作业人员踩在踏板上时保持平衡,不易摔倒,而且架体与地面全接触,没有悬空,不会发生晃动,保证了作业人员的安全性。
- 一种脚手架
- [发明专利]一种市政道路施工用平整度检测设备-CN202210985317.X在审
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蒋伟;李凯;朱学军;杜昌帅;邵轩;李川
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蒋伟
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2022-08-17
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2022-11-01
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E01C23/01
- 本发明涉及道路平整度检测领域,具体为一种市政道路施工用平整度检测设备,包括移动架,所述移动架的底部转动安装有方便移动架移动的转向轮,所述移动架的顶部转动安装有方便移动架移动中转向的转向拉杆,所述转向拉杆与转向轮固定连接,所述移动架底部远离转向轮的一端固定安装有使移动架平稳移动的移动轮,所述移动架的底部设置有对道路平整度进行测量的检测机构,本发明的目的在于提供一种市政道路施工用平整度检测设备,当对路面的平整度进行检测时,对路面上的小石子或者杂物等进行清理,避免小石子或者杂物等影响检测装置,使测量出来的数据不精准,并且当移动到不平整的路面时,对不平整处进行标记,方便检测人员识别记录。
- 一种市政道路施工平整检测设备
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