[发明专利]一种石英坩埚/管涂碳方法

摘要

本发明提供了一种石英坩埚/管涂碳方法,在洗洁处理后的石英坩埚内壁上用950℃高温热解解丙酮沉积一薄层碳膜。防止了试料与石英坩埚内壁的粘连,使长成的晶体外形光滑完整,晶体易于从坩埚中倒出,石英坩埚可重复使用。碳膜隔离了试料与石英壁直接接触,防止了试料被污染和石英坩埚在高温下的变性。

主权项

1.一种石英坩埚/管涂碳方法，系采用热解反应沉积碳膜，其特征在于其具体操作如下：1-1.平置式高温炉(1)升温，在涂碳区域内炉温稳定在To＝950±50℃的平坦温度范围内；1-2.将清洁石英坩埚/管(2)置入高温炉(1)内，石英坩埚/管需涂碳膜区域置于高温炉的平坦温度区域中；待温场平衡炉温稳定在To值；1-3.将口径为Φ3至Φ6mm的石英吸管(3)伸入石英坩埚/管(2)内；用乳胶管(4)将石英吸管(3)与蒸发瓶(5)接通；蒸发瓶(5)内预置超纯或AR级丙酮试剂(6)；1-4.打开氮气开关，将氮气通入蒸发瓶(5)，流量由小调大，观察蒸发瓶内丙酮冒泡.每秒约数只；1-5.氮气流将丙酮的蒸气带入处于高温的石英坩埚/管内，丙酮热解反应产生碳沉积在石英坩埚/管(2)内壁上，维持进行3至6分钟；1-6.关氮气，撤石英吸管，从高温炉内取出石英坩埚/管(2)；用清洁滤纸包好石英坩埚/管(2)口部，冷却，保洁存放备用。