[发明专利]一种石英坩埚/管涂碳方法

权利要求书

1.一种石英坩埚/管涂碳方法，系采用热解反应沉积碳膜，其特征在于其具体操作如下：

1-1.平置式高温炉(1)升温，在涂碳区域内炉温稳定在T_o＝950±50℃的平坦温度范围内；

1-2.将清洁石英坩埚/管(2)置入高温炉(1)内，石英坩埚/管需涂碳膜区域置于高温炉的平坦温度区域中；待温场平衡炉温稳定在T_o值；

1-3.将口径为Φ3至Φ6mm的石英吸管(3)伸入石英坩埚/管(2)内；用乳胶管(4)将石英吸管(3)与蒸发瓶(5)接通；蒸发瓶(5)内预置超纯或AR级丙酮试剂(6)；

1-4.打开氮气开关，将氮气通入蒸发瓶(5)，流量由小调大，观察蒸发瓶内丙酮冒泡.每秒约数只；

1-5.氮气流将丙酮的蒸气带入处于高温的石英坩埚/管内，丙酮热解反应产生碳沉积在石英坩埚/管(2)内壁上，维持进行3至6分钟；

1-6.关氮气，撤石英吸管，从高温炉内取出石英坩埚/管(2)；用清洁滤纸包好石英坩埚/管(2)口部，冷却，保洁存放备用。

2.一种石英坩埚/管涂碳方法，系采用热解反应沉积碳膜，其特征在于其具体操作如下：

2-1.平置式高温炉(1)升温，在涂碳区域内炉温稳定在T_o＝950±50℃的平坦温度范围内；

2-2.将清洁石英坩埚/管(2)置入高温炉(1)内，石英坩埚/管的需涂碳膜区置于高温炉的平坦温度区内；待温度稳定在T_o；

2-3.用移液管将AR丙酮滴入石英坩埚/管(2)内一小滴，立即用清洁棉球塞住石英坩埚/管口；

2-4.高温热解3-4分钟，丙酮热解反应产生的碳被沉积在石英坩埚/管(2)内壁上；

2-5.从高温炉内取出石英坩埚/管(2)，用清洁滤纸包好石英坩埚/管(2)口部，冷却，保洁存放备用；如发现从高温炉纸内取出的石英坩埚/管(2)内壁的碳膜不够厚，可再重复本简易工艺操作步骤一至二次。