[发明专利]相位光栅及其制造、光学编码器及其应用电动机和机械手无效
申请号: | 96106812.4 | 申请日: | 1996-06-10 |
公开(公告)号: | CN1093264C | 公开(公告)日: | 2002-10-23 |
发明(设计)人: | 高田和政;西井完治;高本健治;伊藤正弥;福井厚司 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 张政权 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种其凹部基本上为矩形形状的相位光栅,光栅深度比通过等式|n-n0|×(p-d′/e)/p×d′=(λ/2)×(1+2m),(其中,m=0,±1,±2,…)计算得到的深度d′为更深一个规定范围内的值,所述深度d′取决于因相位光栅的衍射产生部分干涉的光的波长λ、相位光栅的间距长度p、相位光栅之基料的折射率n、相位光栅周围介质的折射率n0、以及作为光栅深度与光栅凹部斜面宽度之比的形态比e。 | ||
搜索关键词: | 相位 光栅 及其 制造 光学 编码器 应用 电动机 机械手 | ||
【主权项】:
1.一种相位光栅,它具有基本上为矩形形状的凹部,其特征在于,其光栅深度是比通过公式:|n-n0|×(p-d′/e)p×d′=(λ/2)×(1+2m),(其中,m=0,±1,±2,…)计算得到的深度d′为更深一个规定范围内的值,所述规定范围为深度d′的百分之三至百分之五,所述深度d′取决于因相位光栅的衍射产生部分干涉的光的波长λ、相位光栅的间距长度p、相位光栅之基料的折射率n、相位光栅周围介质的折射率n0、以及作为光栅深度与光栅凹部斜面宽度之比的形态比e。
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