[发明专利]保护铱坩埚生长掺四价铬高温氧化物晶体的方法无效

专利信息
申请号: 92108460.9 申请日: 1992-06-17
公开(公告)号: CN1080334A 公开(公告)日: 1994-01-05
发明(设计)人: 颜声辉;朱洪滨;侯印春;王四亭 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B27/02;C30B29/34
代理公司: 中国科学院上海专利事务所 代理人: 张泽纯,李兰英
地址: 201800 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种保护铱坩埚生长掺四价铬高温氧化物晶体的方法,核心内容是用等离子喷涂技术在铱坩埚外壁喷涂氧化锆保护层,在中性气氛下化料并保持在氧气气氛下生长晶体,晶体生长完成后,让晶体在真空中和氧化锆保温条件下自然冷却。
搜索关键词: 保护 坩埚 生长 掺四价铬 高温 氧化物 晶体 方法
【主权项】:
1、一种保护铱坩埚生长掺四价铬高温氧化物晶体的方法,其特征在于其步骤是:1>铱坩埚外壁用等离子喷涂技术喷涂氧化锆保护层;2>将晶体生长的原料按配比装入铱坩埚并装入晶体生长单晶炉中;3>晶体生长炉膛抽空后再充入中性气体;4>通电加热,使坩埚和晶体原料的温度达1100℃~1500℃;5>将炉内再抽空后充入氧气,继续加热,至原料全部熔化;6>在晶体生长温度下恒温一小时后,开始下种引晶生长;7>晶体生长完成后,将炉膛抽空,切断电源,让晶体在真空中和氧化锆保温条件下自然冷却。
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