[其他]生产掺氟氧化锡涂层的改进的化学蒸气沉积法

摘要

本发明提出一种利用包含活性有机氟掺杂剂和有机锡化合物的液态涂层组成以形成掺氟氧化锡涂层的改进的化学蒸气沉积法，此方法在一组特定的工艺条件下实行，以致制得的涂层具有一个实质上与沉积温度无关的恒定的和最低的薄层电阻。

主权项

1、一种在不同的工艺条件下生产具有一个恒定的和最低的薄层电阻的掺氟氧化锡涂层的改进的化学蒸气沉积法，包括：(a)形成一种包含有机氟掺杂剂和有机锡化合物的液态涂层组成，所述的组成包括：(1)1～30%(重量)，有机氟掺杂剂，其中至少有一个氟原子位于官能团的α位或β位，那里的碳原子与选自羧酸、酸酐、酯、醇、酮、酰基卤或醚等中的氧原子键合；以及(2)70～99%(重量)有机锡化合物，它为一种三氯化烷基锡、二氯化二烷基锡、烷基二氯化锡乙酸酯、烷基氯化锡二乙酸酯或三氯化锡酯或四氯化锡；(b)汽化所述的液态涂层组成而进入湿润的载气中以形成一种载气、水、有机氟掺杂剂和有机锡混合物的气相混合物；(c)沉积所述的气相混合物到一衬底上而形成所述的涂层，其特征为：所述的组份的蒸气浓度是这样的，即参数M定义为：M=((AIR)(H2O))/((OFD)(O))，其中：(AIR)是载气的摩尔浓度；(H2O)是载气中水的摩尔浓度；(OFD)是载气中有机氟掺杂剂的摩尔浓度；(O)是载气中有机锡化合物的摩尔浓度。从而，在所述的M值小于50，000时，制得具有一个恒定的和最低的薄层电阻的掺氟氧化锡涂层。