[实用新型]集成有高反膜的红外焦平面探测器

摘要

本实用新型实施例提供一种集成有高反膜的红外焦平面探测器，包括红外材料、互联结构和读出电路模块，所述红外材料通过所述互联结构与所述读出电路模块电连接，所述红外材料包括衬底和在所述衬底上设置的外延材料，其中，所述外延材料上设置有多个台面结构，所述多个台面结构构成多个像元，在每一个所述台面结构的侧壁上设置有高反膜。根据本实用新型实施例的集成有高反膜的红外焦平面探测器，通过在台面侧壁上设置高反膜从而减少了台面结构的侧壁的出射光，减少了像元间的相互辐射，从而减少了串音的影响，提高了探测器的量子效率。