[实用新型]集成有高反膜的红外焦平面探测器

权利要求书

1.一种集成有高反膜的红外焦平面探测器，包括红外材料、互联结构和读出电路模块，所述红外材料通过所述互联结构与所述读出电路模块电连接，所述红外材料包括衬底和在所述衬底上设置的外延材料，

其中，所述外延材料上设置有多个台面结构，所述多个台面结构构成多个像元，在每一个所述台面结构的侧壁上设置有高反膜。

2.根据权利要求1所述的集成有高反膜的红外焦平面探测器，其特征在于，在所述多个台面结构的相互间的位置上设置有高反膜。

3.根据权利要求2所述的集成有高反膜的红外焦平面探测器，其特征在于，所述高反膜为SiO₂。

4.根据权利要求3所述的集成有高反膜的红外焦平面探测器，其特征在于，所述SiO₂通过PECVD工艺生长至指定厚度。

5.根据权利要求2所述的集成有高反膜的红外焦平面探测器，其特征在于，在每一个所述台面结构的顶端上设置有金属电极，所述金属电极通过互联结构与所述读出电路模块电连接。

6.根据权利要求5所述的集成有高反膜的红外焦平面探测器，其特征在于，所述金属电极为钛铂金电极。