[实用新型]一种用于半导体设备的进气装置及半导体设备

摘要

本实用新型公开一种用于半导体设备的进气装置及半导体设备，涉及半导体设备技术领域。该进气装置包括进气管道和进气块，进气管道的相对两端分别与液态源系统和进气块连接，进气管道包括管道本体和多个连接耳，多个连接耳沿管道本体的外周间隔设置，进气块上设置有进气口，管道本体与进气口对应设置，连接耳与进气块固定连接。该进气装置及半导体设备能够解决现有技术中液态源容易发生冷凝现象的问题，同时还能够避免影响液态源的进气管道与进气块之间的密封性能。