[实用新型]一种清洗设备及清洗液供应装置有效
| 申请号： | 202320577071.2 | 申请日： | 2023-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN219273857U | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 高创;张国庆;韩小琴;程膘 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种清洗设备及清洗液供应装置，清洗设备包括清洗槽和清洗液供应装置，清洗液供应装置包括流量调节阀和至少两个清洗液供应管路，至少两个清洗液供应管路并联；每个清洗液供应管路包括至少一个喷头，喷头设置在清洗槽内，并将清洗液喷入清洗槽；至少一个清洗液供应管路上设置所述流量调节阀，流量调节阀调节对应的清洗液供应管路供应的清洗液的流量。如此配置，可以使得进入清洗槽内的清洗液的总流量较为平稳地增加，避免总流量突然变化而瞬间冲击晶圆，引起晶圆震动或移位，导致晶圆缺陷或破片，提高产品良率和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 设备 供应 装置 | ||
【主权项】：
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