[实用新型]一种清洗设备及清洗液供应装置有效
申请号: | 202320577071.2 | 申请日: | 2023-03-22 |
公开(公告)号: | CN219273857U | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 高创;张国庆;韩小琴;程膘 | 申请(专利权)人: | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑星 |
地址: | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 清洗 设备 供应 装置 | ||
1.一种清洗液供应装置,其特征在于,包括流量调节阀和至少两个清洗液供应管路,至少两个所述清洗液供应管路并联;每个所述清洗液供应管路包括至少一个喷头,所述喷头设置在清洗槽内,于将清洗液喷入所述清洗槽;至少一个所述清洗液供应管路上设置所述流量调节阀,所述流量调节阀用于调节对应的所述清洗液供应管路供应的所述清洗液的流量。
2.根据权利要求1所述的清洗液供应装置,其特征在于,每个所述清洗液供应管路上均设置有所述流量调节阀。
3.根据权利要求1或2所述的清洗液供应装置,其特征在于,所述清洗液供应装置还包括液位信息采集器,所述液位信息采集器设置在所述清洗槽上,并用于实时地采集所述清洗槽内的所述清洗液的液位信息;所述流量调节阀用于根据所述液位信息调节对应的所述清洗液供应管路供应的所述清洗液的流量。
4.根据权利要求3所述的清洗液供应装置,其特征在于,所述清洗液供应装置还包括控制单元,所述控制单元与所述液位信息采集器和所述流量调节阀通信连接,所述控制单元被配置用于接收所述液位信息,并根据所述液位信息控制所述流量调节阀以调节对应的所述清洗液供应管路供应的所述清洗液的流量。
5.根据权利要求4所述的清洗液供应装置,其特征在于,所述控制单元内存储有所述清洗液供应管路供应的清洗液的流量与所述液位信息之间的预定关系,所述控制单元还被配置为允许修改所述预定关系;所述清洗液供应装置还包括输入单元,所述输入单元与所述控制单元通信连接,并用于向所述控制单元输入相关参数,以修改所述预定关系。
6.根据权利要求4所述的清洗液供应装置,其特征在于,所述清洗液供应装置还包括流量计,设置有所述流量调节阀的所述清洗液供应管路上设置所述流量计,所述流量计用于监测对应的所述清洗液供应管路供应的所述清洗液的实时流量,并将所述实时流量反馈给所述控制单元;所述控制单元根据所述实时流量控制所述流量调节阀以调节对应的所述清洗液供应管路供应的所述清洗液的流量。
7.根据权利要求1或2所述的清洗液供应装置,其特征在于,所述流量调节阀为线性流量调节阀。
8.一种清洗设备,其特征在于,包括清洗槽和如权利要求1-7中任一项所述的清洗液供应装置,所述喷头设置在所述清洗槽内。
9.根据权利要求8所述的清洗设备,其特征在于,每个所述清洗液供应管路包括多个喷头,同一个所述清洗液供应管路的多个所述喷头围绕所述清洗槽的轴线均匀布置。
10.根据权利要求8所述的清洗设备,其特征在于,不同的所述清洗液供应管路的所述喷头沿所述清洗槽的轴向间隔布置。
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