[实用新型]一种MEMS压力传感器有效
| 申请号： | 202320470825.4 | 申请日： | 2023-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN219223988U | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 蔡春华;万蔡辛;赵成龙;巩啸风;何政达;陈骁 | 申请（专利权）人： | 无锡韦感半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;B81B7/02;G01L9/08 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 甄丹凤 |
| 地址： | 江苏省无锡市新吴区菱湖*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS压力传感器，MEMS压力传感器，包括：衬底；热电堆结构，位于所述衬底上；键合层，位于所述衬底上，围绕所述热电堆结构；透明层，位于所述键合层远离所述衬底的表面，所述透明层靠近所述衬底的表面开设有凹槽，所述凹槽内具有透镜结构；以及反射层，位于所述透明层远离所述键合层的表面，所述反射层中具有贯穿所述反射层的通孔；其中，所述通孔的位置与所述凸透镜的位置相对应，所述通孔用于接收红外光，使得红外光照射至所述透明层，进而经由透镜结构照射至所述热电堆结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压力传感器 | ||
【主权项】：
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