[实用新型]一种金刚石生长用进气机构及设有该进气机构的设备

摘要

本实用新型提供一种金刚石生长用进气机构及设有该进气机构的设备，包括腔体、水冷台和基片台，其特征在于，包括配制在所述腔体顶部的盖体，其构置有用于气体流通的管道，所述管道绕设于所述盖体的中轴线配制；在所述管道的最低面上分布有若干气孔，气体进入所述管道中后再经不同位置的所述气孔进入腔体中。本实用新型一种金刚石生长用进气机构，结构简单且易于加工，有助于生长气体充分且均匀地充满生长腔中，提高生长气体被微波激发电离产生等离子体的利用率，促进金刚石晶体生长的一致性。