[实用新型]一种用于蒸发源的检漏装置有效
| 申请号： | 202320136147.8 | 申请日： | 2023-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN218916690U | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 何军舫;王军勇 | 申请（专利权）人： | 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/04 | 分类号： | G01M3/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京众辉津成知识产权代理事务所(普通合伙) 16108 | 代理人： | 王文峰 |
| 地址： | 101100*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于蒸发源的检漏装置，包括蒸发源主体及检漏机构；蒸发源主体包括支撑盘及蒸发源结构组件；支撑盘的顶面及底面均安装设置有蒸发源结构组件；支撑盘上可拆卸的设置有检漏机构，用于蒸发源主体的检漏工作；检漏机构包括安装法兰、密封筒及检漏管。本申请的用于蒸发源的检漏装置简单方便、稳定实用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 蒸发 检漏 装置 | ||
【主权项】：
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