[实用新型]一种用于蒸发源的检漏装置

权利要求书

1.一种用于蒸发源的检漏装置，其特征在于，包括蒸发源主体及检漏机构；

所述蒸发源主体包括支撑盘及蒸发源结构组件；所述支撑盘的顶面及底面均安装设置有所述蒸发源结构组件；

所述支撑盘上可拆卸的设置有所述检漏机构，用于所述蒸发源主体的检漏工作；所述检漏机构包括安装法兰、密封筒及检漏管。

2.根据权利要求1所述的用于蒸发源的检漏装置，其特征在于，所述支撑盘的底面可拆卸的设置有所述安装法兰；所述支撑盘沿直径方向的一端沿轴线方向贯穿开设有通孔；所述通孔沿所述支撑盘的周向均匀设置有多个；

所述安装法兰上对应所述通孔沿所述安装法兰的轴线方向贯穿开设有螺孔；所述螺孔对应所述通孔沿所述安装法兰的周向均匀设置有多个。

3.根据权利要求2所述的用于蒸发源的检漏装置，其特征在于，所述安装法兰的底面沿轴线方向固定设置有所述密封筒；所述密封筒设置为筒状，用于所述蒸发源主体的检漏工作。

4.根据权利要求3所述的用于蒸发源的检漏装置，其特征在于，所述密封筒的底面沿轴线方向固定设置有所述检漏管；所述检漏管与所述密封筒固定连通；所述检漏管的底端固定设置有快速接头。

5.根据权利要求4所述的用于蒸发源的检漏装置，其特征在于，所述安装法兰的中心沿轴线方向贯穿开设有中心通孔；所述中心通孔的顶面外围沿轴线方向固定开设有密封槽。