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[发明专利]加热器制备方法-CN202310643977.4在审
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本公开提供了一种加热器制备方法，包括：将模具置于沉积炉内的旋转支架上，所述模具的沉积面朝上，所述模具外套设有环形的挡气装置，以三氯化硼和氨气为反应气体，以氮气作为载气进行沉积，制得板状的热解氮化硼基板；在所述热解氮化硼基板上制作导电图案；在具有所述导电图案的所述热解氮化硼基板上形成第一绝缘层。本公开的方法能够提高加热器的性能。
加热器制备方法

[发明专利]气相沉积用模具及热解氮化硼板材的制备方法-CN202310645414.9在审
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-01 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本公开提供了一种气相沉积用模具及热解氮化硼板材的制备方法，气相沉积用模具包括：第一表面，其为沉积面；第二表面，其与所述第一表面相对设置，所述第二表面的面积小于所述第一表面的面积；侧面，其连接所述第一表面和所述第二表面，所述侧面与所述第一表面的夹角为锐角。本公开的气相沉积用模具制备的板材易于脱模。
沉积模具氮化板材制备方法

[实用新型]一种用于蒸发源水冷套的检漏装置-CN202320136886.7有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2023-02-07 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G01M3/32 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于蒸发源水冷套的检漏装置，包括蒸发源主体及检漏机构；蒸发源主体包括支撑盘、Feedthrough组件及水冷套；支撑盘的顶面及底面分别安装设置有Feedthrough组件及水冷套；支撑盘上对应水冷套固定开设有水冷进出口；支撑盘上可拆卸的设置有检漏机构，用于水冷套的检漏工作；检漏机构包括安装法兰及进出管。本申请的用于蒸发源水冷套的检漏装置便于拆装、密封效果好、工作效率高。
一种用于蒸发水冷检漏装置

[实用新型]一种用于蒸发源的放置架-CN202320121766.X有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2023-02-06 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于蒸发源的放置架，包括蒸发源主体及放置架；蒸发源主体包括支撑盘及蒸发源结构组件；支撑盘的顶面及底面均安装设置有蒸发源结构组件；支撑盘上可拆卸的设置有放置架，用于放置蒸发源主体；放置架包括支撑板、支撑柱及插接头。本申请的用于蒸发源的放置架简单实用。
一种用于蒸发放置

[实用新型]一种便于更换电加热模块的晶体生长炉-CN202320119863.5有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人：博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
申请日： 2023-02-06 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种便于更换电加热模块的晶体生长炉，包括生长炉主体及固定销；生长炉主体包括电加热模块、陶瓷纤维毯及纤维棉圈；电加热模块及陶瓷纤维毯均设置为圆筒状；电加热模块的外围沿轴线方向可拆卸的套设有陶瓷纤维毯；电加热模块与陶瓷纤维毯轴线重合；电加热模块与陶瓷纤维毯的顶端及底端均共同可拆卸的设置有纤维棉圈；加热模块包括模块拼接体；模块拼接体的顶面及底面分别设置为第一拼接面及第二拼接面；第一拼接面与第二拼接面相匹配的设置；模块拼接体沿生长炉主体的轴线方向上下拼接设置有多个。本申请的便于更换电加热模块的晶体生长炉拼接高效、使用寿命长、稳定牢靠不漏温。
一种便于更换加热模块晶体生长

[实用新型]一种用于蒸发源的检漏装置-CN202320136147.8有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2023-02-07 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01M3/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于蒸发源的检漏装置，包括蒸发源主体及检漏机构；蒸发源主体包括支撑盘及蒸发源结构组件；支撑盘的顶面及底面均安装设置有蒸发源结构组件；支撑盘上可拆卸的设置有检漏机构，用于蒸发源主体的检漏工作；检漏机构包括安装法兰、密封筒及检漏管。本申请的用于蒸发源的检漏装置简单方便、稳定实用。
一种用于蒸发检漏装置

[实用新型]一种用于HVPE生长炉的隔热装置-CN202320120590.6有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人：博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
申请日： 2023-02-06 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于HVPE生长炉的隔热装置，包括固定架、隔热挡板及底层隔热挡板；固定架与生长炉相匹配的设置为筒状；固定架可拆卸的设置于生长炉，用于安装隔热挡板及底层隔热挡板；固定架的顶端对应生长炉的顶面固定设置有安装板；安装板设置为环状，用于固定架与生长炉的顶面可拆卸的连接；固定架的内部可拆卸的设置有隔热挡板，内部底端可拆卸的设置有底层隔热挡板，均用于隔热工作。本申请的用于HVPE生长炉的隔热装置简单实用、稳定牢靠。
一种用于 hvpe 生长隔热装置

[实用新型]一种OLED蒸镀用陶瓷加热器-CN202023340109.X有效
发明人：何军舫 -专利权人：博宇（天津）半导体材料有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H05B3/03 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种OLED蒸镀用陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状，且具有侧面和一个底面；加热区，位于所述加热器基体的侧面；电极，位于所述加热器基体的底面；其中，所述电极两两相对设置，两个相对设置的所述电极与所述加热器基体底面的圆心连线夹角为150°‑180°。将电极设置在筒型加热器的底面，底面设置电极更牢固，连接件与电极的贴合更为紧密无间隙，解决了使用过程中的打火问题，提高了加热器使用安全性，延长了使用寿命；电极的位置分布方式使电源线对加热器施加的拉力达到平衡或近似平衡态，以保证加热器的轴向位于竖直方向，不会倾斜，使加热器对被加热物的距离保持不变，保证了加热器的加热均匀性。
一种 oled 蒸镀用陶瓷加热器

[实用新型]一种坩埚内模氧化用进气管-CN202221957938.9有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： B28B7/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种坩埚内模氧化用进气管，所述进气管道，其环形侧壁上沿螺旋状排布设置有出气孔，所述出气孔内部的环形壁面倾斜向下设置，倾斜角度设置为向下30～50°之间；所述连接机构，设置于所述进气管道上，包括顶部套管及底部套管，用于连接两个所述进气管道的首尾端；所述底板，设置于所述进气管道的底部，用于封堵进气管道的底部。本实用新型的坩埚内模氧化用进气管，其进气管道上的出气孔设置为螺旋状排布，可顺应气流进入进气管道的方向排出，气体出气效果好，对空心内模的氧化效率高；另外，可以将两个进气管道的首尾端连接起来，故可以调节整根进气管道的长短，可以适应不同高度的收口式坩埚的空心内模的氧化，通用性高。
一种坩埚氧化气管

[发明专利]一种立式陶瓷加热器-CN202011622347.1有效
发明人：何军舫 -专利权人：博宇（天津）半导体材料有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H05B3/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种立式陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状，具有侧面和一个底面；加热区，位于加热器基体侧面；电极，位于加热器基体底面；电极两两相对设置，两个相对设置的电极与加热器基体底面的圆心连线夹角为150°‑180°；加热器基体的底面具有通孔；通孔的轴向与加热器基体的轴向重合。将电极设置在筒型加热器的底面，底面设置电极更牢固，连接件与电极的贴合更为紧密无间隙，解决了使用过程中的打火问题，提高了加热器使用安全性，延长了使用寿命；电极的位置分布方式使电源线对加热器施加的拉力达到平衡或近似平衡态，以保证加热器的轴向位于竖直方向，不会倾斜，使加热器对被加热物的距离保持不变，保证了加热器的加热均匀性。
一种立式陶瓷加热器

[实用新型]一种便于通入保护气的束流环焊接用工装-CN202221961736.1有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
申请日： 2022-07-27 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于通入保护气的束流环焊接用工装，支撑底台包括支撑座，套设于支撑座的外侧设置有环形支撑体；环形支撑体的内部设置有第一环形空腔，第一环形空腔内外侧分别设置有第一出气孔及第一进气口；支撑座的顶面设置有第一螺纹孔，支撑座的顶面上设置有可拆卸的圆形的支撑台，支撑台的底面设置有螺柱；底板固定机构可拆卸的设置于支撑底台的顶面，用于对束流环底板进行按压定位；顶板固定机构可拆卸的设置于支撑底台的顶面，用于对束流环顶板进行按压定位。本实用新型的便于通入保护气的束流环焊接用工装，可以通过第一进气口及第二进气口向第一环形空腔及第二环形空腔的内部输送保护气体，避免焊缝周围因焊接原因发黑发红。
一种便于保护束流环焊接用工

[实用新型]一种金属薄壁零件冲压工装-CN202221957838.6有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人：博宇（天津）半导体材料有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B21D37/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属薄壁零件冲压工装，底模包括底座，底座的顶面上的中部设置有定位孔；底座的顶面上设置有多个环形的同心凹槽，同心凹槽的槽底设置有环形的成型凹槽；顶模设置于底模的上方，包括压座，压座的底面对应定位孔设置有定位柱；压座的底面位于定位柱的外侧对应成型凹槽固定的设置有环形的成型环；成型环与压座的底面的连接处设置为环形斜面。调节机构设置于同心凹槽的槽底，用于调节同心凹槽的槽底的宽度以适应不同宽度的环形金属板。本实用新型的金属薄壁零件冲压工装，可以对环形金属板一次成型为U型金属冲压件，提高了生产效率；另外，可以同时冲压不同直径大小、宽度大小的环形金属板，通用性强。
一种金属薄壁零件冲压工装

[实用新型]一种蒸镀用陶瓷加热器-CN202121067996.X有效
发明人：何军舫 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： H05B3/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀用陶瓷加热器，包括：加热器基体，为圆筒状；第一加热区和第二加热区，分别具有加热电路，所述第一加热区和所述第二加热区沿所述加热器基体的轴向依次设置在所述加热器基体的侧面；其中，所述第一加热区的加热电路宽度大于所述第二加热区的加热电路宽度，所述第一加热区和所述第二加热相邻的两个所述加热区间隔为10‑30mm。蒸镀用陶瓷加热器分为第一加热区和第二加热区，第一加热区的加热电路的宽度大于第二加热区的加热宽度，使第一加热区的温度高于第二加热区的温度，以实现需要的温度差值，保证材料不在蒸镀用陶瓷加热器的第一加热区凝固结晶。
一种蒸镀用陶瓷加热器

[发明专利]氮化硼坩埚模具、制备方法及脱模方法-CN202210149841.3有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人： 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2022-02-18 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本公开实施例公开了一种氮化硼坩埚模具、制备方法及脱模方法，氮化硼坩埚模具包括：中空的基体，所述基体包括主体、与所述主体可拆卸连接的底部和与所述主体可拆卸连接的头部，所述头部具有连通所述基体内部的通孔，所述通孔远离所述主体的一端具有内螺纹，所述头部具有连通所述通孔的排气孔；表层，其包覆于所述基体的外表面。本公开实施例的氮化硼坩埚模具能够提升坩埚质量。
氮化坩埚模具制备方法脱模

[实用新型]一种螺旋式不锈钢水冷装置-CN202122997670.3有效
发明人：何军舫;王军勇 -专利权人：博宇（天津）半导体材料有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-01 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种螺旋式不锈钢水冷装置，包括固定台，固定台的顶面分别贯通的设置有进水管及出水管，进水管及出水管的顶面设置有螺旋设置的管道，管道的一端与进水管相连通，另一端与出水管相连通。本实用新型的有益效果是通过在蒸发源的外部设置有螺旋式的不锈钢管道，不锈钢管道的两端一端为进水口，另一端为出水口，通过不间断的进行冷却水循环降低不蒸发源外部的温度；可以确保冷却水充满整个管道，避免了水冷装置内部夹气导致的局部过热问题，解决了水冷套过热损坏的问题，该种水冷装置不需要区分进出水，可以有效的降低使用中的风险，避免相关事故导致的损失。
一种螺旋式不锈钢水冷装置

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