[实用新型]一种测量系统有效
| 申请号： | 202320117772.8 | 申请日： | 2023-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN219455041U | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 刘坚;吴卓骅;尹韶辉;王辰;张桢巍 | 申请（专利权）人： | 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心;江苏优普纳科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;H01L21/66;B24B37/34;B24B49/00;B24B49/12;G01B21/30 |
| 代理公司： | 北京思睿峰知识产权代理有限公司 11396 | 代理人： | 高芮;赵爱军 |
| 地址： | 214101 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种测量系统，涉及测量技术领域，该测量系统用于测量待测晶圆，包括：形状误差测量模块；粗糙度测量模块，布置在所述形状误差测量模块的一侧；竖直布置的第一滑台，所述第一滑台与所述形状误差测量模块固定连接，适于驱动所述形状误差测量模块竖直运动，以便调节所述形状误差测量模块的高度；水平布置的第二滑台，适于驱动所述待测晶圆水平运动至形状误差测量模块的测量范围内，以便对所述待测晶圆进行形状误差测量；并适于驱动所述待测晶圆水平运动至所述粗糙度测量模块的测量范围内，以便对所述待测晶圆进行表面粗糙度测量。根据本实用新型的技术方案，实现了对待测晶圆进行非接触式测量，提高了测量效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 系统 | ||
【主权项】：
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