[发明专利]一种具有碳化硅无氧涂层的碳碳坩埚及其制备方法

摘要

本发明属于材料技术领域，具体涉及一种具有碳化硅无氧涂层的碳碳坩埚及其制备方法。本发明先通过化学气相沉积增密、树脂浸渍‑碳化增密、提高碳碳坩埚的致密度，再对高密度碳碳坩埚内表面进行高纯硅粉的超声速等离子喷涂得到硅涂层，并在坩埚内表面化学气相沉积SiC层，坩埚内表面、硅涂层和SiC层经表面原位反应生成碳化硅无氧涂层，经由原位化学反应制得碳化硅无氧涂层层间结合力更为牢固，可对碳碳坩埚内表面进行有效封孔，使其表面更为致密，防止高温硅液渗透，阻止硅蒸汽与碳碳坩埚发生化学反应，有效防止碳碳坩埚被腐蚀破坏，可有效提高碳碳坩埚的高温力学性能和抗硅化腐蚀性能，延长碳碳坩埚的使用寿命。