[发明专利]一种过位自动断电电路及半导体制造设备在审
| 申请号： | 202310993113.5 | 申请日： | 2023-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN116706841A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 杨玉恒 | 申请（专利权）人： | 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | H02H7/08 | 分类号： | H02H7/08;H02H5/00;H01L21/306;B24B37/34;B24B55/00 |
| 代理公司： | 苏州京昀知识产权代理事务所(普通合伙) 32570 | 代理人： | 段晓玲 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种过位自动断电电路及半导体制造设备，其中电路包括：第一电源、第二电源、第一开关、控制马达转动的马达接触器以及包括线圈、主触点和副触点的自锁继电器；第一开关包括有三个导电挡片，在马达未过位的情况下，副触点为常开状态，且第一导电挡片和第二导电挡片不接触，主触点为常闭状态，马达接触器与第二电源之间形成通路，使马达可以顺畅地转动；当马达过位时，转盘机构会被马达驱动并转动至过位位置，在过位位置上，第三导电挡片与第一导电挡片和第二导电挡片接触导通，副触点闭合，电流流过线圈产生磁场，从而控制主触点断开，马达接触器与第二电源之间形成断路，使得马达停止转动，实现了电路自动断电，避免了机器损坏的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 断电 电路 半导体 制造 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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