[发明专利]基于硅衬底的LED外延片及其制备方法、LED有效

专利信息
申请号: 202310927826.1 申请日: 2023-07-27
公开(公告)号: CN116705947B 公开(公告)日: 2023-10-17
发明(设计)人: 郑文杰;程龙;高虹;刘春杨;胡加辉;金从龙 申请(专利权)人: 江西兆驰半导体有限公司
主分类号: H01L33/14 分类号: H01L33/14;H01L33/06;H01L33/00;H01L33/32
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 李素兰
地址: 330000 江西省南昌市南*** 国省代码: 江西;36
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种基于硅衬底的LED外延片及其制备方法、LED,涉及半导体光电器件领域。基于硅衬底的LED外延片包括硅衬底和依次设于硅衬底上的缓冲层、电阻层、非掺杂GaN层、N型GaN层、多量子阱层、电子阻挡层和P型GaN层;电阻层为周期性结构,周期数≥2,每个周期的电阻层均包括依次层叠的三元共掺GaN层、P型InAlN层和C掺AlN层;其中三元共掺GaN层中的掺杂元素为Y、Mg和C。实施本发明,可提升基于该LED外延片的LED器件的可靠性、发光效率。
搜索关键词: 基于 衬底 led 外延 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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