[发明专利]一种低噪声MEMS加速度计在审
| 申请号： | 202310893480.8 | 申请日： | 2023-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN116835521A | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 车录锋;陈梦佳 | 申请（专利权）人： | 浙江大学;浙江大学绍兴研究院;绍兴市科技创业投资有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00;G01P15/125 |
| 代理公司： | 绍兴锋行知识产权代理事务所(普通合伙) 33460 | 代理人： | 徐锋 |
| 地址： | 310000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种低噪声MEMS加速度计，通过大尺寸质量块、多组串联折叠梁、带空腔的上下玻璃盖板结构，增大了敏感质量、降低了谐振频率、提高了品质因子，实现了低热机械噪声的加速度计；同时，本发明提出的基于三角形电极的位移‑电容传感阵列，优化了单位面积内的电极排布方式，提高了电容传感灵敏度。本发明通过深反应离子刻蚀技术实现了低噪声的质量‑弹簧振子结构，通过热压键合和胶键合的方式实现了玻璃‑硅‑玻璃的三明治加速度计结构，提高了MEMS加速度计的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 噪声 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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