[发明专利]具有电磁屏蔽功能的MEMS装置及其制作方法在审
| 申请号： | 202310873477.X | 申请日： | 2023-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN116924320A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 雷永庆;谢国伟 | 申请（专利权）人： | 麦斯塔微电子（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种具有电磁屏蔽功能的MEMS装置及其制作方法，通过于器件层设置可动柔性部件，使所述支撑衬底通过所述可动柔性部件面外耦接盖板晶圆以对支撑衬底的浮空电位进行释放，抑制衬底电位浮动对器件层工作的电磁干扰，提升了微机电系统在复杂电磁环境中稳定运行的能力。本发明的制作方法包括，将盖板晶圆带有图形化金属层的一面与器件层进行对准键合以于所述盖板晶圆与所述MEMS器件之间界定出气密性腔体，同时使支撑衬底通过所述可动柔性部件面外耦接所述盖板晶圆以对衬底的浮空电位进行释放，易于工艺实现。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电磁 屏蔽 功能 mems 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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