[发明专利]一种微波衰减器及其制作方法、超导量子计算机在审
| 申请号： | 202310855563.8 | 申请日： | 2023-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN116683140A | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 栾添;李海峰;高岩松;李成鑫;张铭;陆兆辉 | 申请（专利权）人： | 量子科技长三角产业创新中心 |
| 主分类号： | H01P1/22 | 分类号： | H01P1/22;G06N10/40;H01P11/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王雨 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区青龙*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及衰减器技术领域，公开了一种微波衰减器及其制作方法、超导量子计算机，包括：衬底；位于衬底上的氮化钽薄膜电阻以及与氮化钽薄膜电阻电性连接的共面波导；位于衬底远离共面波导的一侧且与共面波导电性连接的底部公共地层。上述微波衰减器利用氮化钽薄膜材料制作衰减电阻以及采用共面波导的设计，可以实现极低温环境下对微信号的精确衰减，并且在结构上采用背面公共地连接方式，能够减小地线阻抗，提高抗干扰能力，便于统一接地，实现小型化，整体来看，具有精度高、匹配特性好、阻值精密稳定、温湿度系数低、体积小和易于与控制电路一体化集成等特点，满足超导量子计算机发展需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 衰减器 及其 制作方法 超导 量子 计算机 | ||
【主权项】：
暂无信息
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