[发明专利]一种MEMS高冲击加速度传感器在审
| 申请号： | 202310851032.1 | 申请日： | 2023-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN116699171A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 王红战;杨春;闫长新 | 申请（专利权）人： | 芜湖军融能源科技有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/00 | 分类号： | G01P15/00;G01P15/02 |
| 代理公司： | 北京达友众邦知识产权代理事务所(普通合伙) 11904 | 代理人： | 雷森 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市弋江区高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS高冲击加速度传感器，包括传感器主体和敏感芯片，所述传感器主体为单轴及多轴高冲击传感器，且传感器主体采用硅、玻璃键合的三层结构，所述传感器主体包括盖板主体、结构层主体和衬底主体，所述盖板主体的底端设置有结构层主体，且结构层主体底端设置有衬底主体，所述结构层主体的内部安装有敏感芯片。本发明通过Y轴和Z轴单元结构相同，互相垂直布置，每个第一悬臂梁的根部有两个第一压敏电阻，四个第一压敏电阻构成惠斯通电桥，Y轴和Z轴单元的敏感方向在硅片平面内，当经受敏感方向的加速度时，第一悬臂梁会发生弯曲，引起梁上电阻变化，电桥的输出的电压就反映了外部加速度的大小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 冲击 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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