[发明专利]一种测量金属膜膜厚的优化方法在审
| 申请号： | 202310843452.5 | 申请日： | 2023-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN116825254A | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 冯宇;罗勇;张博;吴凡;徐晓辉 | 申请（专利权）人： | 武汉光迅科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G16C60/00 | 分类号： | G16C60/00;G06F30/20;G01B7/06;G06F111/10 |
| 代理公司： | 深圳市爱迪森知识产权代理事务所(普通合伙) 44341 | 代理人： | 何婷 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种测量金属膜膜厚的优化方法，包括：创建输入功率、金属膜膜厚和工艺时间之间的测量模型；根据真空镀膜理论，获取金属膜的第一极限电阻率；获取第一极限电阻率、金属膜材电阻率和金属膜膜厚之间的对应关系；将对应关系和第一极限电阻率输入到测量模型内，将测量模型转换为中间模型；对金属膜方阻与输入功率进行线性拟合，获取中间模型的参数，并利用中间模型的参数对测量模型的参数进行定标，并利用标定后的测量模型计算出金属膜膜厚。本发明对测量模型的参数进行标定，在保证测量模型准确性的同时，只需要知道工艺时间和输入功率就能通过标定后的测量模型，计算出金属膜膜厚；省去了金属膜膜厚的测量，极大降低成本提高效率 |
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| 搜索关键词： | 一种 测量 金属膜 优化 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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