[发明专利]一种制备高质量超薄薄膜的引发式化学气相沉积设备

摘要

本发明公开了一种制备高质量超薄薄膜的引发式化学气相沉积设备，涉及高分子薄膜材料制备技术领域，包括反应腔、供参与反应气体进入反应腔内的进气系统、控制反应压力的压力控制系统、实时监控薄膜沉积厚度的激光干涉系统，反应腔由上盖板、腔体本体和下底座三部分组成，均带有加热装置，且可分别拆卸维护；下底座上配置有可水平旋转的样品台，样品台配置水冷和电热温控系统；进气系统由多条单体气源管阀系统和引发剂气源管阀系统组成；本发明能够实时监控薄膜厚度，有效控制薄膜质量和均匀性，能够最大限度的热解引发剂，并保证单体与引发剂的充分混合，使单体反应更完全，避免试剂浪费和成本的增加。