[发明专利]背照式图像传感器及其形成方法

摘要

本发明提供一种背照式图像传感器及其形成方法，所述背照式图像传感器包括衬底，提供一衬底，衬底包括正面和背面，衬底的正面包括多个像素区域，衬底的背面形成有多个用于隔离相邻所述像素区域的深沟槽；对衬底的背面执行刻蚀工艺形成第一内置透镜，第一内置透镜与像素区域相对应；在第一内置透镜的顶部形成第二内置透镜；形成填充层，填充层填充深沟槽并覆盖所述第二内置透镜；去除第二内置透镜上方的所述填充层，深沟槽处保留的填充层构成深沟槽隔离结构。通过设置双内置透镜，极大减少了辐射光损耗，并结合衬底背面的深沟槽隔离方式将相邻像素区域的光串扰现象降到最低，从而提高背照式图像传感器的成像质量。