[发明专利]一种平面化流道真空发生器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种平面化流道真空发生器，包括平面基材，平面基材内开设出空腔形成流道，流道一端贯通平面基材形成供气口，流道另一端贯通平面基材形成排气口，所述流道包括加速段和混合段，加速段和混合段之间设有槽口；平面基材还开设出真空腔，槽口连通真空腔和流道，平面基材上设有真空口和真空腔相连；所述流道的加速段通过缩小截面面积增大流速。本发明还公开了平面化流道真空发生器的制备方法。本发明的平面化流道真空发生器在尺寸上可以实现超薄型真空发生器，便于集成化，在微电子、机器人、自动化等领域有经济高效、易于加工、节省空间、安装便利等优点。