[发明专利]一种独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺在审
| 申请号： | 202310668551.4 | 申请日： | 2023-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN116625346A | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 朴林华;刘珺宇;佟嘉程 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01C19/58 | 分类号： | G01C19/58 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺，该独立敏感式MEMS热膨胀流陀螺包括敏感层、和盖板；敏感层上表面有两个加热器和两对热敏电阻，在敏感层下表面中心位置刻蚀有矩形凹槽；四个热敏电阻两两对称分布，分别分布于两个加热器两侧，一个加热器两侧的热敏电阻形成一个独立敏感单元，共两个独立敏感单元，用于敏感Z轴的角速度；盖板刻有空腔，与敏感层紧密相连形成一个密封的工作空间。本发明继承了MEMS热膨胀流陀螺的优点，结构紧密，体积小，重量轻，易于智能化和集成化。本发明采用独立敏感单元，使陀螺具有较高的灵敏度。本发明的敏感元件中无悬臂梁结构，具有良好的抗冲击性能、结构简单、成本极低、可靠性高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 独立 敏感 mems 热膨胀 陀螺 | ||
【主权项】：
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