[发明专利]一种氮化硅陶瓷加热棒的制备方法有效

专利信息
申请号: 202310602326.0 申请日: 2023-05-26
公开(公告)号: CN116283308B 公开(公告)日: 2023-09-01
发明(设计)人: 田卓;王哲;曹献莹;马天龙 申请(专利权)人: 河北高富氮化硅材料有限公司
主分类号: C04B35/593 分类号: C04B35/593;H05B3/14;H05B3/40;C04B35/622;C04B35/626;C04B37/00;B28B1/29;B28B17/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 050091 河北省石家庄市*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供一种氮化硅陶瓷加热棒的制备方法,涉及氮化硅陶瓷加工技术领域;该氮化硅陶瓷加热棒的制备方法包括以下步骤:S1、制备氮化硅层;S2、在氮化硅层上粘结电路;S3、制备内芯棒体;S4、通过热压铸工艺将步骤S2制备的氮化硅层和步骤S3制备的内芯棒体组装成型,用氮化硅层包裹内芯棒体,得到氮化硅加热棒坯体;S5、将步骤S4制备的氮化硅加热棒坯体在真空气压炉中进行压力烧结。本发明的氮化硅陶瓷加热棒的制备方法生产效率高,成品强度较高。
搜索关键词: 一种 氮化 陶瓷 加热 制备 方法
【主权项】:
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