[发明专利]一种探针及其制备方法与微电子探针卡在审
| 申请号： | 202310548014.6 | 申请日： | 2023-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN116577533A | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 叶红亮;石磊;古智;施元军 | 申请（专利权）人： | 苏州晶晟微纳半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;C25D3/50;C25D7/00;G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 刘二艳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种探针及其制备方法与微电子探针卡，所述探针包括探针基体及所述探针基体上覆盖的导电金属层，所述导电金属层中的晶粒尺寸为5.5～6.5μm。本发明提供的探针的导电金属层中的晶粒尺寸较小，晶体致密性较高，导电性较强，大大提升了探针的导电性，从而提升了探针的测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 及其 制备 方法 微电子 | ||
【主权项】：
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