[发明专利]中高频SAW滤波器的IDT的制备方法及SAW滤波器在审
| 申请号： | 202310537261.6 | 申请日： | 2023-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN116667804A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 张新 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种中高频SAW滤波器的IDT的制备方法及SAW滤波器，其中制备方法包括：提供基板；在基板上通过黄光工艺形成IDT光阻结构，IDT光阻结构包括多个间隔设置的光阻单元；将基板置入烤箱中，对IDT光阻结构进行固化；固化完成后，对光阻单元的尺寸进行微调，以缩小光阻单元的宽度；沉积IDT金属，并通过金属剥离工艺，剥离IDT光阻结构以及去除多余的金属，得到所需的IDT结构。本发明在常规制备方法的基础上，通过引入烤箱固化+光阻单元尺寸微调，可以根据不同的尺寸设计，调整IDT层曝光后的光刻胶CD，实现250～500nm不同尺寸的中高频SAW滤波器的IDT的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 saw 滤波器 idt 制备 方法 | ||
【主权项】：
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