[发明专利]高稳定性的柔性电容式压力传感器、其延时标定方法及压力检测方法在审
申请号: | 202310512882.9 | 申请日: | 2023-05-09 |
公开(公告)号: | CN116754109A | 公开(公告)日: | 2023-09-15 |
发明(设计)人: | 刘志敏;孙丹丹;刘宜伟;胡超;秦琴;周酉林;李金财 | 申请(专利权)人: | 宁波韧和科技有限公司;中科韧和科技(山东)有限公司 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;G01L25/00 |
代理公司: | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人: | 单英 |
地址: | 315201 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明选择发泡硅橡胶作为柔性电容式压力传感器中的柔性介电层材料,得到高稳定性的压力传感器。进一步地,通过柔性介电层的厚度以及发泡硅橡胶的硬度选择兼顾传感器的高检测灵敏度与高量程。更进一步地、将发泡硅橡胶中的闭孔结构开孔化提高传感器的检测灵敏度,并且当发泡硅橡胶中部分闭孔结构开孔化不仅提高传感器的检测灵敏度,而且兼顾高检测量程。再进一步地,通过设计发泡硅橡胶中的泡孔呈单层排布提高可控性。考虑到柔性介电层蠕变中随时间变化的可逆形变部分导致传感器压力检测值不稳定,本发明引入时间参数,提供延时标定方法,并且在实际压力检测中引入时间参数进行动态压力检测,能够进一步提高传感器的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 稳定性 柔性 电容 压力传感器 延时 标定 方法 压力 检测 | ||
【主权项】:
暂无信息
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