[发明专利]仿生自清洁多晶金刚石的制备方法在审
申请号: | 202310479229.7 | 申请日: | 2023-04-28 |
公开(公告)号: | CN116555907A | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | 刘康;范赛飞;张伟伟;刘本建;朱嘉琦;代兵 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | C30B29/04 | 分类号: | C30B29/04;C30B28/14;C30B33/12;B05D1/30 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江联合专利商标代理有限公司 23213 | 代理人: | 侯静 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: |
仿生自清洁多晶金刚石的制备方法,本发明的目的是为了解决多晶金刚石表面易吸附粉尘的问题。制备方法:一、超声清洗多晶金刚石;二、金刚石放入化学气相沉积设备中;三、通入反应气体H |
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搜索关键词: | 仿生 清洁 多晶 金刚石 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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