[发明专利]一种光电探测器及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种光电探测器及其制备方法和应用。本发明所提供的光电探测器，具体结构为自下而上依次包括衬底、金属反射层、绝缘介质层、金属纳米球阵列、WS2二维材料层和电极，且金属纳米球阵列由半径为80～140nm的金属纳米球依次等距排布形成，其中相邻的两个金属纳米球，球心之间的距离为290～600nm。具有特定尺寸和排布方式的金属纳米球阵列，能够对特定频率的外界光场产生响应并放大WS2所产生的电信号，当金属纳米球阵列能够响应的光场频率与WS2的特征吸收频率一致时，本发明所提供的光电探测器在探测波段的吸收峰具有更小的半峰宽。