[发明专利]一种掺杂铌酸锂靶材及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202310451818.4 | 申请日： | 2023-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN116425538A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 徐惠彬;高明;王方方;张虎 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | C04B35/495 | 分类号： | C04B35/495;C04B35/622;C04B35/645;G02F1/1523;G02F1/153 |
| 代理公司： | 北京天汇航智知识产权代理事务所(普通合伙) 11987 | 代理人： | 高永 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种掺杂铌酸锂靶材及其制备方法和应用。所述掺杂铌酸锂靶材中掺杂源元素的总摩尔分数不高于30％，掺杂源元素选自Al、Ga、Zr、Mo、Ta、W中的一种或多种元素，且选择对应元素的摩尔质量分数范围为：Al元素0‑10％、Ga元素0‑5％、Zr元素0‑15％、Mo元素0‑15％、Ta元素0‑7％、W元素0‑10％；所述掺杂源元素都以氧化物的形式存在于靶材中；该掺杂铌酸锂靶材的组织具有多晶结构，其方块电阻小于10 |
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| 搜索关键词： | 一种 掺杂 铌酸锂靶材 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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