[发明专利]一种氮化硅密封环表面的金刚石涂层的制备方法在审
| 申请号： | 202310448102.9 | 申请日： | 2023-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN116536760A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 张江红;毛文军;侯晔;马沂荩 | 申请（专利权）人： | 苏州热工研究院有限公司;广东核电合营有限公司;中广核核电运营有限公司;中国广核集团有限公司;中国广核电力股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/18 | 分类号： | C30B25/18;C30B29/04 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 张秋红 |
| 地址： | 215008 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氮化硅密封环表面的金刚石涂层的制备方法，包括以下步骤：S1、超声清洗：采用清洗剂对氮化硅密封环表面超声清洗；S2、预形核处理：将纳米金刚石粉和辅助成分、乙醇混合，得到悬浊液对氮化硅密封环表面超声处理；S3、热丝预处理：对热丝碳化处理；S4、沉积：在氮化硅密封环表面，通过热丝在反应气体中沉积至少一层金刚石涂层；反应气体包括碳源气体和辅助气体，在沉积过程中逐渐增加碳源气体的流量。本发明提高金刚石涂层和氮化硅密封环的结合力以及涂层表面光洁度，并提高涂层的耐磨性能和耐腐蚀性能，整体提高了密封环的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 密封 表面 金刚石 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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