[发明专利]硅衬底制绒及异质结太阳能电池制备方法

摘要

本公开实施例中提供硅衬底制绒及异质结太阳能电池制备方法，通过对硅衬底进行双面制绒，并对制绒后的受光面进行吸杂以在受光面表面形成吸杂膜，以该吸杂膜进行保护，对制绒后的受光面进行平滑处理，之后去除吸杂膜。这样，硅衬底正、背面形成差异化绒面结构，受光面仍然保持陷光性较好的绒面结构，平滑处理后的另一面能够消除尖锐塔尖等区域，改善其本征非晶硅层沉积的均匀性，提高其钝化特性。因此，在本实施例中，一方面吸杂工艺有利于降低硅衬底中缺陷态，提高衬底体少子寿命，提升电池的电学性能，另一方面形成起到保护作用的吸杂膜，而无需引入新工艺步骤来形成对受光面的保护膜，节约了工艺步骤，易于实现，降低生产成本。