[发明专利]一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台在审
| 申请号： | 202310420937.3 | 申请日： | 2023-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN116259516A | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 刘飞;韩笑;杜赵新;白朴存;侯小虎;赵学平 | 申请（专利权）人： | 内蒙古工业大学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/28;H01J37/02;G01N23/2251;G01N23/2204 |
| 代理公司： | 北京冠榆知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11666 | 代理人： | 王道川 |
| 地址： | 010051 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，包括底座、安装在底座上的驱动机构和承载板，所述承载板固定安装在所述驱动机构的驱动端上，所述承载板的外侧设置有保护罩，所述承载板的上方设置有顶板，所述顶板上开设有缺口，所述保护罩的一端与底座固定连接，所述保护罩的另一端与顶板固定连接；所述承载板上安装有缸筒。本发明，设置活动盖板和盖板驱动机构，能够自动对样品表面的高度进行定位，实现样品表面位置处于焦距内，对于多个样品逐一观察时，能够保证每个样品的表面处于焦距内，对多个样品同步观察时，能够保证多个样品的表面均处于焦距内，从而避免了反复调节焦距的麻烦，并且保证成像质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 运动 采集 电信号 扫描电镜 样品 | ||
【主权项】：
暂无信息
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