[发明专利]一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台在审

专利信息
申请号: 202310420937.3 申请日: 2023-04-19
公开(公告)号: CN116259516A 公开(公告)日: 2023-06-13
发明(设计)人: 刘飞;韩笑;杜赵新;白朴存;侯小虎;赵学平 申请(专利权)人: 内蒙古工业大学
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20;H01J37/28;H01J37/02;G01N23/2251;G01N23/2204
代理公司: 北京冠榆知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11666 代理人: 王道川
地址: 010051 内蒙古*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 一种 运动 采集 电信号 扫描电镜 样品
【权利要求书】:

1.一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台,其特征在于,包括底座(1)、安装在底座(1)上的驱动机构(13)和承载板(4),所述承载板(4)固定安装在所述驱动机构(13)的驱动端上,所述承载板(4)的外侧设置有保护罩(2),所述承载板(4)的上方设置有顶板(3),所述顶板(3)上开设有缺口,所述保护罩(2)的一端与底座(1)固定连接,所述保护罩(2)的另一端与顶板(3)固定连接;所述承载板(4)上安装有缸筒(5),所述缸筒(5)内滑动密封安装有活塞体(6),所述活塞体(6)的边沿处沿其轴向固定安装有支撑杆(7),所述支撑杆(7)的顶端抵顶在顶板(3)的内侧壁面上;所述缸筒(5)的开口端上设置有活动盖板(8),所述承载板(4)内安装有盖板驱动机构(9),所述盖板驱动机构(9)与支撑杆(7)驱动连接,所述盖板驱动机构(9)的动力输出端上安装有倾斜驱动机构(11),所述盖板驱动机构(9)通过倾斜驱动机构(11)与所述活动盖板(8)驱动连接;所述缸筒(5)的侧壁上安装有锁定机构(10),所述锁定机构(10)通过联动触发组件(12)与活动盖板(8)传动连接;所述锁定机构(10)上通过拉绳(18)连接有限位卡块(17),所述限位卡块(17)安装在盖板驱动机构(9)内控制盖板驱动机构(9)启动。

2.根据权利要求1所述的一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台,其特征在于,所述承载板(4)内开设有安装腔(14),所述缸筒(5)的顶端插入所述安装腔(14)内,所述安装腔(14)的两侧壁面上均开设有驱动槽(15),两个所述驱动槽(15)内均安装有盖板驱动机构(9)。

3.根据权利要求2所述的一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台,其特征在于,所述盖板驱动机构(9)包括光轴(902)、同轴固定连接在光轴(902)两端的丝杆(904),所述光轴(902)的中部上同轴固定连接有驱动轮(901),所述驱动轮(901)的表面与支撑杆(7)的侧壁贴合,驱动轮(901)两侧的所述光轴(902)的表面上均滑动安装有滑动块(903),两端的所述丝杆(904)上均螺纹连接有驱动块(905),所述滑动块(903)和所述驱动块(905)均滑动配合在驱动槽(15)内,位于驱动轮(901)同一侧的所述滑动块(903)和所述驱动块(905)之间固定连接有拉伸弹簧(906),所述驱动槽(15)的两端内均固定安装有支撑座(907),所述丝杆(904)的端部与所述支撑座(907)转动连接;两个所述滑动块(903)相互靠近的侧壁面上均固定安装有所述倾斜驱动机构(11),所述驱动槽(15)的底壁上位于滑动块(903)的另一侧处开设有限位槽,所述限位卡块(17)滑动配合在限位槽内并挡住滑动块(903)。

4.根据权利要求3所述的一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台,其特征在于,所述活动盖板(8)由两个相对设置有半圆板组成,两个半圆板盖在缸筒(5)的端部上,所述半圆板的两侧上均固定连接有第一滑块(802)和第二滑块(804),所述驱动槽(15)的底壁上与第一滑块(802)和第二滑块(804)相对应的位置处开设有第一导向槽(801)和第二导向槽(803),所述第一滑块(802)插入所述第一导向槽(801)内,所述第二滑块(804)插入所述第二导向槽(803)内,所述第二导向槽(803)靠近驱动槽(15)的一端内连接有活动挡板(805),所述驱动槽(15)的底壁上位于第一导向槽(801)远离第二导向槽(803)的一侧上固定安装有挡块(806);所述第一滑块(802)远离第二滑块(804)的一侧壁面为圆弧面,所述挡块(806)与所述第一滑块(802)相对应的一侧上开设有与圆弧面匹配的圆弧凹槽。

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