[发明专利]一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台

说明书

本发明公开一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，包括底座、安装在底座上的驱动机构和承载板，所述承载板固定安装在所述驱动机构的驱动端上，所述承载板的外侧设置有保护罩，所述承载板的上方设置有顶板，所述顶板上开设有缺口，所述保护罩的一端与底座固定连接，所述保护罩的另一端与顶板固定连接；所述承载板上安装有缸筒。本发明，设置活动盖板和盖板驱动机构，能够自动对样品表面的高度进行定位，实现样品表面位置处于焦距内，对于多个样品逐一观察时，能够保证每个样品的表面处于焦距内，对多个样品同步观察时，能够保证多个样品的表面均处于焦距内，从而避免了反复调节焦距的麻烦，并且保证成像质量。

技术领域

本发明涉及扫面电镜技术领域。具体地说是一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电镜能够实现对物质微观形貌表征的目的，当一次对多个样品逐一观察时，由于样品高度存在一定差异，导致需要针对每一个样品调整焦距，当一次对多个样品同步观察时，同样的，由于各个样品的高度存在差异，也就导致了在焦距之外的样品表面出现成像模糊的问题，无法保证成像质量；其次在对多个样品进行逐一观察时，待观察的样品可能会受到电子束的影响，在一定程度上，待观察样品的表面会产生损伤，尤其是越靠后观察的样品受到影响的时间越长，加剧产生损伤的可能性。

发明内容

为此，本发明所要解决的技术问题在于提供一种能够自动调整焦距满足针对多个样品的不同观察需求，并保护待观察样品的一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台。

为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，包括底座、安装在底座上的驱动机构和承载板，所述承载板固定安装在所述驱动机构的驱动端上，所述承载板的外侧设置有保护罩，所述承载板的上方设置有顶板，所述顶板上开设有缺口，所述保护罩的一端与底座固定连接，所述保护罩的另一端与顶板固定连接；所述承载板上安装有缸筒，所述缸筒内滑动密封安装有活塞体，所述活塞体的边沿处沿其轴向固定安装有支撑杆，所述支撑杆的顶端抵顶在顶板的内侧壁面上；所述缸筒的开口端上设置有活动盖板，所述承载板内安装有盖板驱动机构，所述盖板驱动机构与支撑杆驱动连接，所述盖板驱动机构的动力输出端上安装有倾斜驱动机构，所述盖板驱动机构通过倾斜驱动机构与所述活动盖板驱动连接；所述缸筒的侧壁上安装有锁定机构，所述锁定机构通过联动触发组件与活动盖板传动连接；所述锁定机构上通过拉绳连接有限位卡块，所述限位卡块安装在盖板驱动机构内控制盖板驱动机构启动。

上述一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，所述承载板内开设有安装腔，所述缸筒的顶端插入所述安装腔内，所述安装腔的两侧壁面上均开设有驱动槽，两个所述驱动槽内均安装有盖板驱动机构。

上述一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，所述盖板驱动机构包括光轴、同轴固定连接在光轴两端的丝杆，所述光轴的中部上同轴固定连接有驱动轮，所述驱动轮的表面与支撑杆的侧壁贴合，驱动轮两侧的所述光轴的表面上均滑动安装有滑动块，两端的所述丝杆上均螺纹连接有驱动块，所述滑动块和所述驱动块均滑动配合在驱动槽内，位于驱动轮同一侧的所述滑动块和所述驱动块之间固定连接有拉伸弹簧，所述驱动槽的两端内均固定安装有支撑座，所述丝杆的端部与所述支撑座转动连接；两个所述滑动块相互靠近的侧壁面上均固定安装有所述倾斜驱动机构，所述驱动槽的底壁上位于滑动块的另一侧处开设有限位槽，所述限位卡块滑动配合在限位槽内并挡住滑动块。

上述一种运动中采集电信号的扫描电镜样品台，所述活动盖板由两个相对设置有半圆板组成，两个半圆板盖在缸筒的端部上，所述半圆板的两侧上均固定连接有第一滑块和第二滑块，所述驱动槽的底壁上与第一滑块和第二滑块相对应的位置处开设有第一导向槽和第二导向槽，所述第一滑块插入所述第一导向槽内，所述第二滑块插入所述第二导向槽内，所述第二导向槽靠近驱动槽的一端内连接有活动挡板，所述驱动槽的底壁上位于第一导向槽远离第二导向槽的一侧上固定安装有挡块；所述第一滑块远离第二滑块的一侧壁面为圆弧面，所述挡块与所述第一滑块相对应的一侧上开设有与圆弧面匹配的圆弧凹槽。