[发明专利]一种DBC基板中铜片表面处理工艺在审

专利信息
申请号: 202310415475.6 申请日: 2023-04-18
公开(公告)号: CN116497414A 公开(公告)日: 2023-07-28
发明(设计)人: 严星冈;韩健;詹学武;陈华星;章亚萍 申请(专利权)人: 广德东风半导体科技有限公司;广德东风电子有限公司
主分类号: C25D5/10 分类号: C25D5/10;C25D5/34;C25D5/48;C25D3/38;C23C22/68;C23G1/20;C23G1/10
代理公司: 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 代理人: 王玉
地址: 242200 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种DBC基板中铜片表面处理工艺,属于DBC基板生产技术领域,包括以下步骤:将经预处理的铜片进行粗化、固化和表面硅烷化处理,硅烷化处理过程:将固化铜片浸入改性硅烷溶液中涂覆,其中,改性硅烷溶液由超支化聚硅氧烷接枝二硫化碳制备而成,以超支化聚硅氧烷为原料接枝二硫化碳,形成了二硫代氨基结构,二硫代氨基结构具有优异的螯合性能,能够将硅氧烷单体和金属铜片表面紧密螯合,硅氧烷单体结构中的硅烷氧基和有机官能团水解时生成硅醇,与无机物结合,形成硅氧烷,最终在铜片表面生成单分子硅氧烷膜,硅氧烷膜和陶瓷表面在高温烧结过程中,通过共价键形式相缔结,保证了铜片与陶瓷基板的有效结合。
搜索关键词: 一种 dbc 基板中 铜片 表面 处理 工艺
【主权项】:
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