[发明专利]一种四质量全差分双轴MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 202310409151.1 | 申请日： | 2023-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN116147599B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 华芯拓远（天津）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 周庆路 |
| 地址： | 300450 天津市滨海新区经*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种四质量全差分双轴MEMS陀螺仪，包括衬底层和器件层结构，器件层结构包括驱动双端固支梁、驱动框架、哥氏质量块、驱动耦合固支梁、驱动耦合折叠梁、X轴检测双端固支梁、Z轴检测框架、Z轴检测桁架、Z轴检测耦合梁、Z轴检测框架支点、推挽式驱动力系统、驱动端差分检测输出信号系统、X轴差分检测输出信号系统、Z轴差分检测输出信号系统以及Z轴检测输出闭环控制信号系统。本发明具有以下优点和效果：解决了双轴MEMS陀螺仪两轴间的耦合误差问题，避免了对陀螺仪精度的影响；提高了双轴陀螺仪的检测灵敏度，从而提高了陀螺仪的测量精度；解决了双轴陀螺仪在工作精度上的不协调，不一致问题，可以广泛应用于高端领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 质量 全差分双轴 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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