[发明专利]一种半导体阀门的加工系统及其方法有效
| 申请号： | 202310406844.5 | 申请日： | 2023-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN116141178B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张少特;张奇特;谭云培;袁兴泷;王兵正;谢万桥 | 申请（专利权）人： | 杭州鄂达精密机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;G06T7/00;G06V10/764;G06V10/77;G06V10/82;G06N3/0464;G06N3/048;G06N3/08;B24B49/12 |
| 代理公司： | 杭州汇和信专利代理有限公司 33475 | 代理人： | 陈江 |
| 地址： | 311200 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体阀门智能加工领域，其具体地公开了一种半导体阀门的加工系统及其方法，其采用基于深度学习的人工智能检测技术，以通过图像编码器来提取半导体阀门的第一面的检测图像和第二面的检测图像中关于抛光质量的高维局部隐含特征信息，并以两者之间的差异特征分布信息作为分类器的输入来进行第一面和第二面的抛光质量之间的一致性是否符合预定要求的分类判断。这样，对于半导体阀门每个面的抛光质量进行分析与比较，以在发现半导体阀门各个面的精度一致性较差时及时采取二次加工，提高半导体阀门精度的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 阀门 加工 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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