[发明专利]一种超晶格红外探测器的制备方法

摘要

本发明提供了一种超晶格红外探测器的制备方法，包括：按照超晶格红外探测器的制备要求，从制备数据库中调取与制备要求一致的制备方案；分析制备方案中每个制备流程的流程属性以及每个制备流程所涉及的标准制备参数；根据流程属性以及标准制备参数，且结合当下制备材料的材料属性，构建同个制备流程的流程信息表以及相邻制备流程的稳定信息表；根据所有流程信息表，对待制备探测器进行第一模拟，且将所有流程信息表以及稳定信息表按照完整制备流程，对待制备探测器进行第二模拟；根据模拟结果生成模拟数组列表，并筛选满足生产制备标准的数组信息，并对实际探测器进行多方位验证。为有效保证探测器的制备精度，方便进一步达到制备预期。