[发明专利]单晶炉及其操作方法在审
| 申请号： | 202310387684.4 | 申请日： | 2023-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN116356421A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 计俞伟;沈学忠;曹磊;李庆超;贺林青;温振伟;郎清凯 | 申请（专利权）人： | 纳狮新材料有限公司;东莞瀚晶纳米材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/10 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 蕭輔寬 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种单晶炉及其操作方法。本申请部分实施例提供了一种单晶炉，其包括：加热器及坩埚，其中所述加热器包含电子枪加热器；及所述坩埚包含阻隔件，所述阻隔件经配置将所述坩埚的内侧空间至少划分为加料区域及晶体生长区域，其中所述电子枪加热器经配置以加热所述坩埚的所述加料区域。本申请通过电子枪加热器直接对加料区域中的晶体材料进行加热，能够高效的对晶体材料进行加热，同时，本申请的包含加料区域及晶体生长区域的坩埚设置，在连续拉晶过程中，能够有效降低持续加料对于晶体生长区域的影响。本申请实施例单晶炉及其操作方法，能够提供高效率、高品质且低成本的连续拉晶工艺产品。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
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