[发明专利]一种氧化钼钽靶材及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202310318909.0 | 申请日： | 2023-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN116332645A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;黄洁文;王学泽;吴东青 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/495 | 分类号： | C04B35/495;C04B35/622;C04B35/634;C04B35/64;C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 徐浩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氧化钼钽靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)均匀混合三氧化钼粉与钽粉，得到混合料；(2)均匀混合粘结剂溶液与步骤(1)所得混合料，然后进行冷压；(3)冷压结束后进行无压烧结，得到所述氧化钼钽靶材。本发明提供的制备方法在混合料中添加粘结剂以增强颗粒之间的强度，而后通过冷压以及无压烧结相结合的方式，提高了所得氧化钼钽靶材的致密度，避免了氧化钼在高温下升华导致的致密度偏低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化钼 钽靶材 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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