[发明专利]一种氧化钼钽靶材及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202310318909.0 | 申请日： | 2023-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN116332645A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;黄洁文;王学泽;吴东青 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/495 | 分类号： | C04B35/495;C04B35/622;C04B35/634;C04B35/64;C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 徐浩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化钼 钽靶材 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种氧化钼钽靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：
(1)均匀混合三氧化钼粉与钽粉，得到混合料；
(2)均匀混合粘结剂溶液与步骤(1)所得混合料，然后进行冷压；
(3)冷压结束后进行无压烧结，得到所述氧化钼钽靶材。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述冷压的压力为20-40MPa；
优选地，步骤(2)所述冷压的保压时间为2-5min。
3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述无压烧结的绝对压力≤50Pa。
4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述无压烧结的升温速率为2-5℃/min；
优选地，步骤(3)所述无压烧结的温度为550-700℃；
优选地，步骤(3)所述无压烧结的保温时间为8-15h。
5.根据权利要求1-4任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述粘结剂溶液包括聚乙烯醇溶液；
优选地，所述聚乙烯醇溶液的浓度为3-8wt％。
6.根据权利要求1-5任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述粘结剂溶液中的粘结剂为混合料的0.2-1wt％。
7.根据权利要求1-6任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述三氧化钼粉的粒径D50为5-10μm；
优选地，步骤(1)所述钽粉的粒径D50为20-40μm；
优选地，步骤(1)所述三氧化钼粉的质量为混合料的80-95wt％。
8.根据权利要求1-7任一项所述的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述三氧化钼粉由钼酸铵焙解得到。
9.一种氧化钼钽靶材，其特征在于，所述氧化钼钽靶材由权利要求1-8任一项所述制备方法制备得到。
10.一种如权利要求1-8任一项所述氧化钼钽靶材的应用，其特征在于，所述氧化钼钽靶材用于磁控溅射。
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