[发明专利]一种VCSEL晶圆级别短脉冲测试系统有效
| 申请号： | 202310183687.6 | 申请日： | 2023-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN115856564B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 张华;薛银飞;张文修;李家桐 | 申请（专利权）人： | 上海菲莱测试技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04;G01R1/073;G01N21/62 |
| 代理公司： | 南京源点知识产权代理有限公司 32545 | 代理人： | 潘云峰 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于晶圆测试设备的技术领域，具体涉及一种VCSEL晶圆级别短脉冲测试系统。本发明包括：承载盘的中心设承载区，承载区用于放置晶圆，承载盘的外缘设朝上伸出的环状凸起，承载盘与晶圆的底面电连通；承载盘的底面还设三维驱动机构；面板设在承载盘上方；驱动卡可上下移动地设在面板的底面，驱动卡的正面设驱动模块，反面设导电层，驱动模块与导电层电连通；驱动卡的顶面开设探针窗口；探针座设在面板的正面，探针座的末端设探针，探针座用于调节探针穿过探针窗口，并指向承载区；探针通过软排线与驱动模块电连通。本发明用于解决现有技术中较长的测试回路所寄生的感抗和阻抗会将短脉冲扩展失真，影响晶圆测试的准确性和可信度的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 vcsel 级别 脉冲 测试 系统 | ||
【主权项】：
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